氟里昂、二氯乙烯已全面禁止使用，IS014000质量体系对含氯清洗剂有限制要求，而碳氢清洗剂具有很好的环保性。

    (1)脱脂机理

    与二氯甲烷脱脂原理相同。

    (2)工作原理

    将工件置于密封主槽，并抽真空，在真空状态下，工件狭小缝隙内气体及脱脂剂中的气体被抽出，超声波和摆动系统工作，脱脂结束后，释放真空。根据工件油污状况和要求，可以设计成多槽式。

    (3)缺点

    ①具有可燃性及干燥性，不如二氯甲烷。

    ②设备结构复杂，如要求设备具有真空、防火、防爆、耐压等性能，因而设备价格昂贵。

    ③碳氢溶剂价格高。